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PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥（V70系列L型四開口）用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的負(fù)載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD。

PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥（V70系列雙開口）用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的負(fù)載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD。

PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥（V70系列）適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或化學(xué)氣相沉積（CVD），其技術(shù)采用單軸氣動(dòng)執(zhí)行器驅(qū)動(dòng)的L型運(yùn)動(dòng)。在L型運(yùn)動(dòng)中，隔板垂直移動(dòng)到關(guān)閉位置——無需與閥體接觸——然...

PRECESS普瑞賽思真空傳輸門閥（V77系列）L-Motion密封與傳輸閥不同，只有一個(gè)真空室用于裝載或處理。因此，門的另一側(cè)始終處于大氣壓下。所有PRECESS解決方案都是針對各自的應(yīng)用量身定制的...

PRECESS普瑞賽思真空控制蝴蝶閥（AB系列）提供壓力控制性能。憑借其快速而精確的運(yùn)動(dòng)控制器（0.1s），它是在PVD，CVD，Etch和Ald等各種過程中進(jìn)行壓力控制的理想解決方案。板充當(dāng)節(jié)流元件...

Leybold萊寶電容薄膜真空計(jì)（CTR100）適用于腐蝕性工藝氣體。它能達(dá)到優(yōu)秀水平的精度（0.2%），通過陶瓷電容式傳感器進(jìn)行真空度測量。

Leybold萊寶熱陰極真空計(jì)（ITR90）是一款經(jīng)過優(yōu)化的組合變送器。通過將熱陰極電離傳感器（采用熱陰極電離的 Bayard Alpert 原理）與皮拉尼傳感器相結(jié)合，可實(shí)現(xiàn) 5×10-1...

Leybold萊寶線性壓力傳感器（DI200）是一款性能優(yōu)異的真空壓力測量儀器。它堅(jiān)固耐用，防護(hù)等級為IP54，適用于惡劣環(huán)境。產(chǎn)品非常緊湊，只需要一個(gè)傳感器，采用電容式或壓電式傳感器。

Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復(fù)合真空計(jì)（TTR101）的測量范圍從 5×10?? 到1500 mbar，能夠滿足從粗真空到高真空的測量需求。在 10mbar 到 1500mbar 的測...

Leybold萊寶PENNINGVAC冷陰極真空計(jì)（PTR90）精度高，外形小巧，占用空間小。它們采用杰出的技術(shù)，其真空測量能力達(dá)到很高水平。