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PRECESS普瑞賽思高真空閘閥（V21帶保溫套）配備了VATLOCK技術(shù)，該技術(shù)是專門開發(fā)的，可在閘門密封處提供可靠的密封而不會產(chǎn)生任何摩擦。VATLOCK機(jī)構(gòu)還可以防止閥門故障，這要?dú)w功于關(guān)閉端位置的機(jī)械鎖定。

PRECESS普瑞賽思高真空閘閥（V21系列3位）通用于研究和工業(yè)中的超高真空隔離應(yīng)用。特別適用于泵的隔離。

PRECESS普瑞賽思高真空閘閥（V21系列）配備了VATLOCK技術(shù)，該技術(shù)是專門為提供可靠的密封而開發(fā)的，在閘門密封處沒有任何摩擦。VATLOCK機(jī)構(gòu)還可以防止閥門故障，這要?dú)w功于關(guān)閉端位置的機(jī)械鎖定。

PRECESS普瑞賽思精密真空閘閥（V20系列）配備了VATLOCK技術(shù)，該技術(shù)是專門為提供可靠的密封而開發(fā)的，不會產(chǎn)生任何摩擦，從而避免了顆粒的產(chǎn)生。

PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥（V78系列）用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的負(fù)載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD。

PRECESS普瑞賽思雙層真空傳輸閥（V73系列）用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的負(fù)載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD。

PRECESS普瑞賽思全加熱型真空傳輸閥（V72系列）適用于半導(dǎo)體制造（SEMI）生產(chǎn)系統(tǒng)中裝載鎖定室與工藝腔室之間的隔離。適合諸如蝕刻或化學(xué)氣相沉積等腐蝕性工藝。

PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥（V70系列L型四開口）用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的負(fù)載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD。

PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥（V70系列雙開口）用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的負(fù)載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD。

PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥（V70系列）適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或化學(xué)氣相沉積（CVD），其技術(shù)采用單軸氣動執(zhí)行器驅(qū)動的L型運(yùn)動。在L型運(yùn)動中，隔板垂直移動到關(guān)閉位置——無需與閥體接觸——然后在最終運(yùn)動中水平推至隔板座，密封件以固定力接觸隔板座，該力與連接的氣壓相關(guān)。這不僅避免了摩擦和由此產(chǎn)生的潛在顆粒生成，還最小化了密封件的磨損。