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VAT 65.3控壓真空擺閥設定了下游壓力控制和隔離的新標準。該系列控壓擺閥專為半導體和顯示器生產系統(tǒng)而設計，可在較寬的流導范圍內提供穩(wěn)定精確的可控性。65.3 控壓擺閥配備帶有集成位置控制的電機，可提供改進功能。驅動器控制器具有更高的 32 位數據處理能力，可提供全新可控性。

VAT 61.3壓力控制蝶閥在所有條件下均能實現出色的壓力控制；憑借其快速且精準的作用動作控制器（0.1 秒），61.3系列控制閥成為 CVD 和 ALD 工藝中精細控制的理想解決方案。

VAT全系列真空閥門的設計適用于所有真空度，直至高真空、超高真空和苛刻超高真空條件。VAT真空閥是在潔凈室條件下生產的，并為其各自的應用量身定做。除了高純度外，VAT真空閥由于其高度精確的功能和耐用性，即使在苛刻的運行條件下也表現佳。通過全面的真空隔離閥和控制閥、氣體定量閥、傳輸閥和排氣閥、淹沒閥以及快速關閉閥的產品組合，VAT為所有應用領域提供了真空的解決方案。

VAT全金屬角閥采用 FLEX VATRING“硬對硬”密封技 術。這種動態(tài)全金屬密封系統(tǒng)能夠實現持續(xù)的密封和穩(wěn) 定的閉合力。并且能夠以相當低的軸向力實現高密封力。密封件采用不銹鋼制成，僅能彈性變形。FLEX VATRING 可在側面輕松更換。其在打開和關閉位置可以烘烤至 300℃，并且在清潔條件下運行時使用壽命能超過 1000次。