Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復(fù)合真空計(jì)（TTR101）

性能特點(diǎn)

l測量范圍廣：測量范圍從 5×10?? mbar 到 1500 mbar，涵蓋了從粗真空到高真空的較寬范圍，可滿足多種真空應(yīng)用場景的測量需求。

l精度較高：在 10mbar 到 1500mbar 的測量范圍之間，測量精度高，且不受被測氣體的影響，能夠提供準(zhǔn)確可靠的測量結(jié)果。

l傳感器堅(jiān)固耐用：其包含的 MEMS Pirani 傳感器元件和壓電傳感器元件都極為堅(jiān)固耐用，可承受較高重力和瞬間空氣涌入，具有較好的穩(wěn)定性和可靠性，適用于較為苛刻的工作環(huán)境。

l安裝位置不敏感：MEMS Pirani 傳感器由于其幾何形狀，空腔內(nèi)無法進(jìn)行對(duì)流，氣體分子只能通過擴(kuò)散到達(dá)熱元件，因此傳感器對(duì)安裝位置并不敏感，方便在不同的系統(tǒng)中進(jìn)行安裝和使用。

工作原理

該真空計(jì)結(jié)合了皮拉尼原理與電容薄膜原理。其中，MEMS Pirani 傳感器元件基于熱傳導(dǎo)性的測量結(jié)果，包含一個(gè)帶有熱電阻元件的硅芯片，其構(gòu)成空腔的一個(gè)表面，芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面，通過測量氣體的熱損耗來反映真空度；壓電傳感器基于相對(duì)于集成式參考真空的硅膜機(jī)械偏轉(zhuǎn)測量結(jié)果，可獨(dú)立于氣體成分和濃度來測量真實(shí)的絕對(duì)壓力。

Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復(fù)合真空計(jì)（TTR101）

技術(shù)參數(shù)

l輸出接口：配備 RS232 數(shù)字通信接口和 EtherCAT 數(shù)字通信接口的變送器版本，可設(shè)置變送器參數(shù)，并可提供實(shí)時(shí)壓力測量結(jié)果。部分型號(hào)還帶有線性模擬 0-10V 輸出，可連接至外部模擬設(shè)備，用于獲取壓力讀數(shù)或進(jìn)行壓力控制。

l顯示功能：部分型號(hào)配備集成式觸屏顯示器，能夠監(jiān)控基本的變送器參數(shù)，方便用戶直接讀取測量結(jié)果和進(jìn)行參數(shù)設(shè)置。

l繼電器功能：擁有多達(dá)三個(gè)機(jī)械繼電器，這些繼電器可用于過程控制，例如閥或泵的聯(lián)鎖，可根據(jù)設(shè)定的壓力值自動(dòng)控制相關(guān)設(shè)備的運(yùn)行。

應(yīng)用領(lǐng)域

l工業(yè)應(yīng)用：廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)生產(chǎn)過程中的真空測量與控制，如真空鍍膜、真空干燥、真空包裝等領(lǐng)域，確保生產(chǎn)過程中的真空環(huán)境符合工藝要求。

l研發(fā)領(lǐng)域：在科研實(shí)驗(yàn)中，可用于實(shí)驗(yàn)室的真空系統(tǒng)控制、前級(jí)管道和粗抽壓力測量、氣體回填測量和控制等，為科研工作提供準(zhǔn)確的真空度測量。

l半導(dǎo)體行業(yè)：在半導(dǎo)體制造過程中，如光刻、刻蝕、薄膜沉積等工藝中，對(duì)真空環(huán)境的要求很高，TTR101 真空計(jì)可用于精確測量和控制真空度，保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。

l分析和涂料工業(yè)：在分析儀器如質(zhì)譜儀、氣相色譜儀等中，可作為真空度測量的關(guān)鍵部件，確保儀器的正常運(yùn)行和分析結(jié)果的準(zhǔn)確性；在涂料工業(yè)中，可用于涂料的真空干燥和固化過程中的真空控制。