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PRECESS普瑞賽思
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產(chǎn)品分類(lèi)15796516293
PRECESS普瑞賽思真空傳輸門(mén)閥(V77系列)L-Motion密封與傳輸閥不同,只有一個(gè)真空室用于裝載或處理。因此,門(mén)的另一側(cè)始終處于大氣壓下。所有PRECESS解決方案都是針對(duì)各自的應(yīng)用量身定制的。
PRECESS普瑞賽思真空控制蝴蝶閥(AB系列)提供壓力控制性能。憑借其快速而精確的運(yùn)動(dòng)控制器(0.1s),它是在PVD,CVD,Etch和Ald等各種過(guò)程中進(jìn)行壓力控制的理想解決方案。板充當(dāng)節(jié)流元件,并改變了閥門(mén)打開(kāi)的電導(dǎo)。 AB-N的集成壓力控制器計(jì)算所需的板位置,以盡可能快地達(dá)到設(shè)定的壓力。
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